中图分类号：O313
文献标志码：A
引言
高 Q 值 MEMS 谐振器已在高灵敏度传感器 [1-5] 、低噪声振荡器 [6-9] 以及高性能滤波器 [10-12] 中得到广泛应用。传统的 MEMS 谐振器优化方法多依赖于设计者的几何直觉与经验构（试读）...
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