中图分类号：TM615
文献标志码：A
0 引言
当前，直拉 （CZ） 法是制备太阳能级单晶硅棒的主流工艺之一，其通过将高纯多晶硅在石英坩埚中熔化，利用籽晶从熔体中提拉出大尺寸、低缺陷的单晶硅棒。该工艺是光伏产业链的（试读）...
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