中图分类号：TN 407
文献标志码：A
1 理论基础
1.1 多电路晶圆测试接口特性分析
多电路晶圆测试接口特性分析是后续技术方案设计的基础，须覆盖4个方面的核心特性。1）邻域参数波动特性。同一批次晶圆内晶粒间参数存（试读）...
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